I. Kaedah Tahap Elektronik: Cepat Pada-Penilaian Tapak (Sesuai untuk Platform Sederhana hingga Besar)
Sesuai untuk pemeriksaan harian dan ujian semula suku tahunan. Operasi mudah, kos rendah dan ketepatan sehingga ±0.005mm/m.
1. Prinsip Pengukuran: Ukur sudut kecondongan pada kedudukan yang berbeza menggunakan aras. Kira perbezaan ketinggian relatif antara titik menggunakan data, dan kemudian hitung ralat kerataan (kaedah julat).
2. Prosedur Operasi:
Bersihkan permukaan meja, keluarkan minyak, sanga kimpalan dan serpihan lain.
Susun titik pada jarak yang sama di sepanjang laluan berbentuk "米" (beras) (dua pepenjuru + empat garis tengah sisi) (pitch disyorkan 200~500mm).
Letakkan aras pada setiap titik dan rekod bacaan (unit: bahagian) selepas gelembung menjadi stabil.
Tukar bilangan bahagian kepada perbezaan ketinggian (cth, kepekaan 0.02mm/m, pic L=0.3m, kemudian setiap bahagian sepadan dengan 0.006mm).
Kira perbezaan antara nilai maksimum dan minimum di antara semua mata; ini adalah ralat kerataan.
3. Kriteria Penghakiman Anomali
Jika nilai diukur > 0.10mm/1000mm (gred ketepatan), ia dinilai sebagai anomali; Satu-perubahan musim > 0.02mm/1000mm menunjukkan tekanan dalaman yang aktif, memerlukan amaran.
✅ Adalah disyorkan untuk menggunakan tahap elektronik digital, yang menyokong rakaman data automatik dan analisis trend, meningkatkan kecekapan.
II. Kaedah Alat Pengukur Koordinat:-Pengesanan Kuantitatif Ketepatan Tinggi (Sesuai untuk Penerimaan dan Pengesahan)
Sesuai untuk senario dengan keperluan ketepatan tinggi, seperti kimpalan robotik dan pengesahan penanda aras sebelum pengeluaran besar-besaran.
1. Prinsip Pengukuran
Sistem mengumpul koordinat berbilang titik di atas meja dengan menggerakkan stylus di sepanjang paksi X, Y dan Z. Perisian ini sesuai dengan satah ideal (kaedah persegi terkecil) dan mengira sisihan maksimum antara permukaan sebenar dan satah ideal.
2. Mata Operasi
Kalibrasi probe sebelum pengukuran untuk memastikan ketepatan sistem; Edarkan sekurang-kurangnya 50 titik ukuran sama rata di atas meja (kaedah grid); Elakkan gangguan daripada getaran persekitaran dan turun naik suhu; Gunakan perisian profesional (seperti PC-DMIS) untuk pemprosesan data.
3. Kriteria Penghakiman Keabnormalan
Kerataan=Sisihan Positif Maksimum - Sisihan Negatif Maksimum; Sebarang sisihan yang melebihi piawaian kilang (cth, gred ketepatan > 0.10mm/1000mm) dianggap tidak normal; Peta topografi 3D boleh dijana, memaparkan secara visual kawasan yang menonjol, cekung atau herot.
📌 Kelebihan: Mengesan kedudukan ubah bentuk dengan tepat, menyediakan sokongan data untuk pembaikan seterusnya.
III. Kaedah Interferometer Laser: Ultra-pemeriksaan bukan-kepersisan tinggi (sesuai untuk-penerimaan platform berketepatan tinggi)
Sesuai untuk-platform berketepatan tinggi dengan keperluan kerataan Kurang daripada atau sama dengan 0.05mm/1000mm, seperti meja kerja pemasangan acuan aeroangkasa dan ketepatan.
1. Prinsip Pengukuran
Menggunakan permukaan kerja rata optik sebagai rujukan planar yang ideal, pancaran laser menerangi permukaan yang diukur, membentuk pinggiran gangguan. Kelengkungan pinggir mencerminkan ralat kerataan; setiap pinggir tertutup mewakili perbezaan ketinggian λ/2 (kira-kira 0.3μm di bawah cahaya putih).
2. Prosedur Operasi
Letakkan rata optik pada meja yang telah dibersihkan dengan perlahan;
Hidupkan interferometer laser dan laraskan penjajaran laluan optik;
Perhatikan imej gangguan dan analisis bentuk dan bilangan pinggir;
Jika pinggiran melengkung menjadi gelung tertutup, ralat kerataan=bilangan pinggiran gangguan × λ/2.
3. Penghakiman Anomali
Jika pinggiran gangguan jelas melengkung atau tertutup, ia menunjukkan kehadiran kecembungan/cekung setempat;
Jika pinggir bergerak dari tengah ke tepi → permukaannya cembung; jika tidak, ia adalah cekung;
Nilai ralat melebihi 0.05mm/1000mm dianggap di luar toleransi.
⚠️ Nota: Hanya terpakai untuk permukaan rata kecil yang licin (biasanya<500mm). Large-area inspections need to be performed in segments.
